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半导体制造设备在硅晶圆上构建微型电路。日本公司虽然在半导体生产方面已逐渐失去优势，但在半导体制造设备领域仍保持着全球竞争力。东京电子是全球最大的全系列半导体设备制造商之一，而SCREEN控股公司则在清洗设备领域占据全球市场份额第一，两家公司在规模和战略上都截然不同。东京电子的涂布/显影系统占据了全球90%的市场份额（在EUV光刻应用领域几乎达到100%），即使在半导体行业，这种主导地位也十分突出。而SCREEN则有着一段不寻常的历史：它最初是一家印刷公司，后来转型成为半导体设备制造商。
东京电子
SCREEN Holdings图片：Tokyo Electron logo（公共领域；商标权仍单独适用）/ Silicon wafers（CC0），维基共享资源。晶圆照片并非SCREEN的特定产品，而是用来展示SCREEN清洗工艺所处理的物体类型。
公司历史：东京电子半导体起家，SCREEN从印刷领域转型
东京电子于1963年11月11日在东京都港区赤坂市创立，注册资本500万日元。创始人久保德夫、小高俊夫等人坚信“半导体将改变产业”，公司最初是一家专业技术贸易公司。1964年，公司获得美国Thermco公司扩散炉的进口和经销权，正式开始业务。1968年，公司通过与Thermco合资成立Tel-Thermco公司，开始在国内生产扩散炉，由此开启了向设备制造商的转型。 1986年，该公司全资收购了与美国Lam Research公司的合资企业，以拓展自身产品线；同年开始出口海外；1989年，其半导体设备制造商的收入位居全球第一。2013年，该公司与美国应用材料公司签署合并协议，但由于反垄断方面的担忧，该交易于2015年终止；此后，该公司在不同的愿景和中期管理计划下，独立发展。
SCREEN Holdings的历史可以追溯到更早的1868年（明治元年），当时铜版雕刻师石田才二郎在京都创立了石田极山印刷厂。经历了铜版印刷和胶版印刷时代后，该公司成功实现了照相制版关键部件——“照相制版玻璃网屏”的国产化。1937年，该公司将其研发部门分拆为大日本网屏制造株式会社（Dai Nippon Screen Manufacturing），并于1943年注册成立股份制公司。公司名称“Screen”（网屏）即源于其最初的业务——玻璃网屏。之后，公司业务多元化发展，涉足精密元件领域，例如电子雕刻机、电视摄像管用靶网、彩色CRT电视用荫罩等。20世纪70年代，公司进军半导体设备行业，开发了光刻胶涂布系统和批量清洗系统。到1994年，电子设备业务的收入超过了其最初的印刷设备业务，完成了核心业务的彻底转型。2014年10月1日，公司更名为SCREEN控股有限公司，并转型为控股公司结构。
公司规模对比：五年趋势
两家公司的财年均于三月结束。追踪过去五个财年（2022/23财年至2026/26财年）的数据表明，两家公司正处于相同的半导体投资周期中，且规模差距基本保持不变。
| 财年 | 东京电子营收 | 东京电子营业利润 | SCREEN营收 | SCREEN营业利润 |
|---|---|---|---|---|
| 2022/23财年 | 2.0038万亿日元 | 5993亿日元 | 4119亿日元 | 613亿日元 |
| 2023/23财年 | 2.2090万亿日元 | 6177亿日元 | 4608亿日元 | 765亿日元 |
| 2024/23财年 | 1.8305万亿日元（下行周期） | 4563亿日元（下降） | 5049亿日元 | 942亿日元 |
| 2025/23财年 | 2.4315万亿日元 | 6973亿日元（峰值） | 6253亿日元（峰值） | 1357亿日元（峰值） |
| 2026/23财年 | 2.4435万亿日元（小幅增长） | 6249亿日元（下降） | 6057亿日元（下降） | 1225亿日元（下降） |
| 指标 | 东京电子 | SCREEN控股 | ||
| --- | --- | --- | ||
| 净利润（2026/23财年） | 5744亿日元（同比增长5.6%，部分来自出售交叉持股的收益） | 920亿日元（同比下降7.5%） | ||
| 合并员工人数 | 19,573人（截至2025年3月财年） | 6,884人（同比增长469人） |
东京电子的营收约为SCREEN Holdings的4倍。引人注目的是，两家公司的业绩周期几乎完全相同——在2024/23财年半导体投资低迷时期出现下滑，在2025/23财年强劲反弹至历史新高，然后在2026/23财年再次出现利润下滑。员工人数差距（约2.8倍）小于营收差距（约4倍），这使得SCREEN的人均营收略低于东京电子。东京电子在2026/23财年仍实现了净利润增长，这得益于出售交叉持股所得收益，而SCREEN的营业利润和净利润均出现下滑。
图表：Duskcoil。文章表格中的营收数值已转换为日元万亿。此图表不构成投资建议。
旗舰产品对比
涂布/显影机 vs. 清洗设备：各公司各自近乎垄断的领域
在东京电子的产品线中，最引人注目的是“涂布/显影机”系统，该系统可将光刻胶涂覆到晶圆上，并在曝光后进行显影——这是其旗舰产品系列“CLEAN TRACK”（包括LITHIUS Pro和ACT系列）。其全球市场份额约为90%，在最先进的EUV光刻工艺中，市场份额接近100%，这得益于与世界领先的光刻设备制造商荷兰ASML的紧密合作；东京电子的核心竞争优势在于能够与曝光工具直接联机，并优化整个流程。
SCREEN Holdings 的清洗设备在所有三个类别中均占据全球领先地位（34.7%）：单晶圆清洗系统（旗舰产品 SU-3200、SU-3300 和 SU-3400），每次处理一片晶圆；批量清洗系统，一次处理多片晶圆；以及高速旋转清洗机，在高速旋转的同时清洗基片。预计到 2025 年，累计出货量将超过 15,000 台，该公司在用于尖端逻辑和存储芯片的单晶圆清洗设备领域尤其具有竞争力。SU-3300 采用 SCREEN 的专有“先进工艺气氛控制”技术，使腔室内部保持超高纯度状态，在保持单晶圆处理特有的更高清洗质量的同时，实现了接近批量清洗系统的处理量。
| 项目 | 东京电子光刻胶涂覆/显影机（CLEAN TRACK） | SCREEN 单晶圆清洗设备（SU-3300 等） |
|---|---|---|
| 全球市场份额 | 约 90%（EUV 应用接近 100%） | 所有清洗设备市场份额 34.7%（在单晶圆、批量清洗和旋流清洗机类别中均位居全球第一） |
| 主要用途 | 光刻胶涂覆和显影，与光刻设备在线集成 | 去除晶圆上的杂质和残留化学物质，用于尖端逻辑/存储器 |
| 竞争力来源 | 通过与 ASML 光刻设备集成实现全流程优化 | 专有的腔室气氛控制技术，兼具高吞吐量和高质量 |
蚀刻和沉积 vs. 进军后端（先进封装）
东京电子是一家全线设备制造商，产品涵盖前端工艺的四大主要步骤。除了涂布/显影机外，其产品线还包括“Tactras”等离子蚀刻系统（于2006年推出，可处理300毫米晶圆，最多可容纳六个蚀刻腔）和“Triase+”单晶圆CVD沉积系统，该系统使用WF6和TiCl4作为化学气相沉积剂。在蚀刻和沉积市场，东京电子与美国应用材料公司和Lam Research公司并驾齐驱，占据寡头垄断地位。
SCREEN公司传统上专注于前端清洗工艺，但近年来已开始拓展后端工艺，特别是先进封装技术，该技术用于堆叠和连接半导体芯片。在2025年12月的日本半导体展（SEMICON Japan）上，该公司基于其超过15,000台清洗设备出货量的良好业绩，提出了两项新的发展方向：一是进军后端工艺，二是在美国新建研发中心。SCREEN从其前端专业领域向后端技术转型，反映了行业正在发生的转变：随着人工智能芯片日益复杂，封装技术本身越来越决定芯片的性能。
技术战略的差异
制造半导体需要数十到数百个工艺步骤——沉积、光刻（涂层和显影）、蚀刻、清洗、热处理等等。两家公司在各自覆盖的工艺步骤方面存在显著差异。
东京电子是一家全线设备制造商，其产品涵盖半导体四大主要工艺步骤——沉积、涂层/显影、蚀刻和清洗——并在其中许多领域占据世界领先地位。不依赖于任何单一工艺步骤的产品组合使其能够分散风险，从而应对任何单一技术趋势的变化。
相比之下，SCREEN Holdings 最初是一家专注于单一工艺——“清洗”的专业公司，该工艺用于清除晶圆上的杂质和残留化学物质。通过专注于单一工艺，该公司深入钻研技术，并将根据每位客户的特定需求进行定制的能力转化为其核心竞争优势。然而，正如上文所述，该公司近期进军后端工艺领域，正在逐步拓展其曾经狭窄的专业领域。
这种广而浅与窄而深的对比，在整个半导体设备行业中普遍存在，这两家公司与其说是直接竞争对手，不如说是在工艺流程的不同环节拥有不同优势的参与者。
研发与制造设施
东京电子除位于港区赤坂的总部外，还通过集团公司在山梨县（东京电子技术解决方案公司，生产沉积和蚀刻系统）、宫城县（东京电子宫城公司，生产等离子蚀刻系统）和岩手县（东京电子东北公司）设有生产设施。SCREEN Holdings 除位于京都的总部外，还在日本国内运营着位于滋贺县彦根的工厂（半导体制造设备的母厂）、位于滋贺县的安须工厂以及位于京都府伏见区的乐西工厂。下图标出了我们能够确认的主要国内工厂（海外工厂和小型销售办事处不在本次讨论范围内）。
资料来源：东京电子的官方“地点”和设施页面，以及各集团公司（东京电子宫城株式会社、东京电子技术解决方案株式会社）的官方页面。SCREEN Holdings 的官方“国内设施列表”页面。两家公司的部分设施未披露具体的街道/地块编号；在这种情况下，我们通过地图/目录服务（Mapion、NAVITIME 等）确认了城镇/街区级别的位置。
坐标已通过 OpenStreetMap Nominatim 进行地理编码，精确到城镇/街区级别。战略与展望
东京电子于2022年6月公布的中期经营计划，目标是在2027/23财年实现3万亿日元的营收和35%或更高的营业利润率。在计划期内，公司计划投入超过1万亿日元用于研发，其中包括超过4000亿日元的资本支出，同时加强产能和研发能力。在2025年7月至9月的季度业绩报告中，公司重申了实现3万亿日元目标的信心，这主要得益于不断增长的生成式人工智能需求。公司认为，半导体小型化和人工智能相关需求的增长并非昙花一现，而是可能持续十年或更久的结构性转变。
根据其中期经营计划“Value Up Further 2026”，SCREEN Holdings设定了更长远的目标，即到2033/3财年实现1万亿日元以上的营收和20%以上的营业利润率。在2025/3财年至2027/3财年的三年间，该公司计划将约3600亿日元（包括经营现金流和现有现金）分配到资本支出（约1000亿日元）、研发（约1100亿日元）、战略投资（约800亿日元）和股息（约700亿日元）等多个方面。除了上述对后端工艺的推进外，该公司还宣布计划在美国新建一家研发中心，旨在更早地启动核心技术（如清洗、热处理和先进封装）的研发，并缩短设备开发周期；其战略是在保持专注专业优势的同时，逐步扩大业务范围。
两家公司共同的利好因素是人工智能相关半导体需求的快速增长。人工智能芯片需要同时在两个方面实现先进的制造工艺——更精细的电路几何结构和更复杂的封装——因此，东京电子的前端设备和SCREEN的清洗及后端设备在提升人工智能芯片性能方面都发挥着至关重要的作用。与此同时，两家公司在2024/2023财年和2026/2026财年的投资周期低迷期都经历了利润下滑——这提醒我们，作为设备制造商，它们都无法摆脱这样一个结构性事实：它们的业绩与它们所销售的芯片制造商的资本支出周期紧密相关。
参考资料
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IRBANK：东京电子 (8035) 财务业绩（日语） https://irbank.net/8035/pl ) / IRBANK：SCREEN Holdings (7735) 财务业绩（日语）
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SCREEN 集团：从 15,000 多台清洗设备到后端工艺和美国研发（SEMICON Japan 2025 报告，日语）
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